渦輪分子幫浦 Turbo Molecular Pump
渦輪分子幫浦技術特點
- 新型的組合式分子幫浦，能產生5×10-7mbar以上的真空度。
- 內含乾式運行的隔膜幫浦做為前級幫浦(初級抽氣幫浦)，不需要再另接。
- 自動測量隔膜幫浦產生的真空壓力並自動啟動分子幫浦，不需要附加裝置和人為控制。
- 配有給容器充氣的充氣開關。
- 當達到一定的真空壓力後，可選擇自動關閉隔膜幫浦，以節省電源，增加設備的使用壽命。
- 採用自動空氣冷卻。
- 操作簡單，一個總開關便可開關渦輪分子幫浦。
- 乾式運行免維護，體積小，重量輕。
渦輪分子幫浦應用建議
高真空或乾淨環境的製程領域,如:蒸鍍與濺鍍,半導體技術實驗,化學氣相技術實驗,顯示器的生產,電子顯微,質譜儀
| 型號 | 真空度(mbar) | 流速N2/He/H2(l/s) | 重量(Kg) | 尺寸 WxDxH (mm) |
|---|---|---|---|---|
| CDK240 | 5×10-7 | 50/56/46 | 13.7 | 344x193x400 |
| CDK240 UHV | 5×10-8 | 50/56/46 | 14.7 | 344x193x398 |
| CDK263 | 5×10-7 | 77/65/50 | 13.7 | 344x193x381 |
| CDK263 UHV | 5×10-8 | 77/65/50 | 13.7 | 344x193x381 |
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