旋轉塗佈機 Spin Coaters
旋轉塗佈機原理：
旋轉塗佈機,spin coaters,利用真空吸住基板,將欲塗佈的化學物質,如:光阻劑,由上方噴嘴滴下,藉由旋轉的離心力將物質均勻散佈,塗佈膜的厚度則視化學物質黏度,以及旋轉速度與旋轉時間來調整
旋轉塗佈機應用：
SP-4A和SP-4C體積小,可直接經由大傳遞箱置放在手套箱內,亦可在訂製手套箱時選擇內嵌方式置入,以進行各種電池元件製作
旋轉塗佈機各機型皆附：
- 乾式真空幫浦(排氣量：60L/min,真空度：20 torr)
| 型號 | SP-4A | SP-4BC | SP-4C | SP-4L | SP-4E |
|---|---|---|---|---|---|
| 轉速顯示 | 數位式 | 4.3吋彩色觸控面板 | 8吋彩色觸控面板 | ||
| 轉速範圍 | 500~8500 rpm (兩段) | 50~10000 rpm (10段) | 1~10000 rpm (10段) | 1~12000 rpm (15段) | |
| 加速度範圍 | - | 1~10000 rpm/s | |||
| 轉速穩定度 | ±5‰ | ±1‰ | |||
| 時間設定 | 0~999s | 0~10000s | |||
| 基材尺寸 | Φ5-Φ100mm | Φ5-Φ120mm | Φ5-Φ150mm | Φ5-Φ200mm | |
| 參數記憶 | - | 無限組,每組10段轉速 | 無限組,每組15段轉速 | ||
| USB連接口 | - | 有 | |||
| 外型尺寸 WxDxH mm | 210x220x180 | 215x260x160 | 210x220x160 | 340x500x250 | |
| 電源 | AC100-250V | ||||
| 使用環境 | 0-40℃, 相對溼度＜85% | ||||
*以上外觀尺吋及規格本公司保有修改之權利,恕不另行通知。